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์‹ฌ ๊ต์ˆ˜๋Š” ์ค‘๊ตญ์ด ๋ฏธ์„ธํ™” ๊ฒฝ์Ÿ์—์„œ ํ•œ๊ณ„๋ฅผ ๋А๋‚„ ๊ฒฝ์šฐ 3D ์ ์ธต ๊ธฐ์ˆ ์„ ํ†ตํ•ด ์šฐํšŒ๋กœ๋ฅผ ๋ชจ์ƒ‰ํ•  ์ˆ˜๋Š” ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋ดค๋‹ค.

๊ทธ๋Š” โ€œ์ค‘๊ตญ์ด 3D ์Šคํƒœํ‚น(stacking) ๊ธฐ์ˆ ๋กœ ๊ธฐ์ˆ ๊ฒฉ์ฐจ๋ฅผ ๋ฉ”์šฐ๋Š” ์ „๋žต์„ ํƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹คโ€๋ฉฐ โ€œEUV ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„ ์—†์ด ์‚ผ์„ฑ์ „์ž, SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค, ๋งˆ์ดํฌ๋ก ์„ ๋”ฐ๋ผ์˜ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์‚ฌ์‹ค์ƒ ์œ ์ผํ•œ ์„ ํƒ์ง€โ€๋ผ๊ณ  ๋งํ–ˆ๋‹ค.

๋‹ค๋งŒ ๊ทธ๋Š” โ€œ๋ฌธ์ œ๋Š” 3D ์ ์ธต ๊ธฐ์ˆ ์ด ๊ฒฐ์ฝ” ๋‹จ์ˆœํ•œ ๊ณต์ • ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ

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